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河北干式真空泵

  • 產(chǎn)品分類: 干式真空泵系列
  • 生產(chǎn)廠家: 淄博機(jī)械設(shè)備有限公司
  • 價(jià)格: 來電咨詢
  • 添加時(shí)間: 19/10/08
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產(chǎn)品詳情

應(yīng)用

干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個(gè)方面:

1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;

4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵;

5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。


tags:河北干式真空泵廠家,河北干式真空泵價(jià)格
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